中國兵器工業第214研究所是一家從事微電子技術研發的駐蘇科研單位,建所以來為國家和社會研制了數百種高新技術產品。近年來,214所先后引進了包括5名國家“千人計劃”專家在內的一批技術領軍人才和4個國內領先水平的技術團隊,圍繞LTCC(低溫共燒陶瓷)、MEMS(微機電系統)兩大核心技術,開拓創新,取得重大突破。
LTCC(低溫共燒陶瓷)技術是無源元件集成的主流技術。近年來,214所基于該項技術,為航天某型號衛星成功研制了關鍵部件的先行樣件,在增強衛星可靠性的同時,大大提高了衛星的有效載荷,產品性能達到國際先進水平,LTCC工藝技術達到國內領先水平。
MEMS(微機電系統)主要包括微型機構、微型傳感器、微型執行器和相應的處理電路等幾部分,它是在融合多種微細加工技術,并應用現代信息技術的最新成果的基礎上發展起來的高科技前沿學科,MEMS產品在航空、航天、汽車、生物醫學、環境監控、軍事等領域中都有著十分廣闊的應用前景。目前,214所研發的MEMS高G值加速度傳感器技術實現定型轉產,產品已成功配套于多個武器裝備系統,填補了國內空白,并開展了MEMS加速度傳感器系列、MEMS陀螺儀以及MEMS壓力傳感器等產品的研制工作,同時結合民用市場需求積極推進MEMS產品在汽車電子、消費電子等多個領域的推廣及應用。
近年來,214所承擔了“973”、“核高基”等國家重大專項。擁有自主知識產權的高端SOC芯片研制成功;多芯片組件工藝技術實現了從2D到3D的跨越;基于LTCC的微波/毫米波產品研發能力居國內領先水平;MEMS慣性器件部分關鍵技術取得重大進展;先進微光成像傳感技術率先在國內取得重大突破……各項事業穩定發展,取得了良好的社會效益和經濟效益。
三年來,全所專利申請量年均增長率超過50%,獲得“蘇州市專利工作先進單位”稱號。2011年專利申請數量倍增,發明專利申請31項,授權6項,首次成為蘇州高新區專利大戶,并榮獲蘇州高新區專利先進單位稱號;2012年發明專利申請數量預計將超過40項,并已提交一項PCT國際專利申請。其中,“一種供電與分流裝置”已授權發明專利并成功應用于“天宮一號”飛行器電源分系統,實現太陽能電池陣列的供電與分流功能,為我國載人航天事業的發展做出了貢獻;“一種壓阻式MEMS加速度計”等8項MEMS技術相關發明專利已受理,且“一種多懸臂梁加速度傳感器”等3項發明專利已授權,為企業MEMS核心技術及其產業化發展打下了扎實的基礎。(蒼梧)
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