中國兵器工業(yè)第214研究所是一家從事微電子技術(shù)研發(fā)的駐蘇科研單位,建所以來為國家和社會研制了數(shù)百種高新技術(shù)產(chǎn)品。近年來,214所先后引進(jìn)了包括5名國家“千人計(jì)劃”專家在內(nèi)的一批技術(shù)領(lǐng)軍人才和4個國內(nèi)領(lǐng)先水平的技術(shù)團(tuán)隊(duì),圍繞LTCC(低溫共燒陶瓷)、MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))兩大核心技術(shù),開拓創(chuàng)新,取得重大突破。
LTCC(低溫共燒陶瓷)技術(shù)是無源元件集成的主流技術(shù)。近年來,214所基于該項(xiàng)技術(shù),為航天某型號衛(wèi)星成功研制了關(guān)鍵部件的先行樣件,在增強(qiáng)衛(wèi)星可靠性的同時,大大提高了衛(wèi)星的有效載荷,產(chǎn)品性能達(dá)到國際先進(jìn)水平,LTCC工藝技術(shù)達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先水平。
MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))主要包括微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路等幾部分,它是在融合多種微細(xì)加工技術(shù),并應(yīng)用現(xiàn)代信息技術(shù)的最新成果的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的高科技前沿學(xué)科,MEMS產(chǎn)品在航空、航天、汽車、生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境監(jiān)控、軍事等領(lǐng)域中都有著十分廣闊的應(yīng)用前景。目前,214所研發(fā)的MEMS高G值加速度傳感器技術(shù)實(shí)現(xiàn)定型轉(zhuǎn)產(chǎn),產(chǎn)品已成功配套于多個武器裝備系統(tǒng),填補(bǔ)了國內(nèi)空白,并開展了MEMS加速度傳感器系列、MEMS陀螺儀以及MEMS壓力傳感器等產(chǎn)品的研制工作,同時結(jié)合民用市場需求積極推進(jìn)MEMS產(chǎn)品在汽車電子、消費(fèi)電子等多個領(lǐng)域的推廣及應(yīng)用。
近年來,214所承擔(dān)了“973”、“核高基”等國家重大專項(xiàng)。擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的高端SOC芯片研制成功;多芯片組件工藝技術(shù)實(shí)現(xiàn)了從2D到3D的跨越;基于LTCC的微波/毫米波產(chǎn)品研發(fā)能力居國內(nèi)領(lǐng)先水平;MEMS慣性器件部分關(guān)鍵技術(shù)取得重大進(jìn)展;先進(jìn)微光成像傳感技術(shù)率先在國內(nèi)取得重大突破……各項(xiàng)事業(yè)穩(wěn)定發(fā)展,取得了良好的社會效益和經(jīng)濟(jì)效益。
三年來,全所專利申請量年均增長率超過50%,獲得“蘇州市專利工作先進(jìn)單位”稱號。2011年專利申請數(shù)量倍增,發(fā)明專利申請31項(xiàng),授權(quán)6項(xiàng),首次成為蘇州高新區(qū)專利大戶,并榮獲蘇州高新區(qū)專利先進(jìn)單位稱號;2012年發(fā)明專利申請數(shù)量預(yù)計(jì)將超過40項(xiàng),并已提交一項(xiàng)PCT國際專利申請。其中,“一種供電與分流裝置”已授權(quán)發(fā)明專利并成功應(yīng)用于“天宮一號”飛行器電源分系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)太陽能電池陣列的供電與分流功能,為我國載人航天事業(yè)的發(fā)展做出了貢獻(xiàn);“一種壓阻式MEMS加速度計(jì)”等8項(xiàng)MEMS技術(shù)相關(guān)發(fā)明專利已受理,且“一種多懸臂梁加速度傳感器”等3項(xiàng)發(fā)明專利已授權(quán),為企業(yè)MEMS核心技術(shù)及其產(chǎn)業(yè)化發(fā)展打下了扎實(shí)的基礎(chǔ)。(蒼梧)
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